沙伯基礎(chǔ)創(chuàng)新塑料公司日前推出超純透明Stat-Loy63000CT系列復(fù)合材料。這種復(fù)合材料可用于晶圓防護(hù)設(shè)備，防止因釋氣所造成的毀損及由此導(dǎo)致晶片污染、廢料增加和成本提高等問(wèn)題。
隨著元器件的日益精細(xì)化，塑料釋氣污染的影響日益明顯。由于容器可用材料匱乏，使新一代芯片制造工藝所需的氬氟激光技術(shù)難有用武之地。為此，沙伯基礎(chǔ)創(chuàng)新塑料率先開(kāi)發(fā)出這種超純透明復(fù)合材料，以克服元件小型化過(guò)程中的障礙。該成果有助于利用氬氟激光技術(shù)制造出45納米或更小的精密電路。
超純透明復(fù)合材料是一種超潔凈、透明、性防靜電材料，可實(shí)現(xiàn)揮發(fā)性有機(jī)污染物超低析出，以及低水平可濾取離子釋放。此外，該材料還具有優(yōu)異的著色性能，是光罩和晶片防護(hù)設(shè)備、芯片盒、光罩盒及處理盒的備選材料。
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